Journal Title Electronics and Electrical Engineering Journal Abbreviation elt Publisher Group Kaunas University of Technology (KTU) Open Journal Systems (KTU) Website http://www.eejournal.ktu.lt/index.php/elt

PDF (1,185 kb)

Title	Difuzija sujungtų kontaktų taikymas puslaidininkiniuose dariniuose
Authors	Korolkov, O.; Sleptsuk, N.; Toompuu, J.; Rang, T.
Abstract	Puslaidininkinių darinių kontaktai paprastai formuojami taikant įprastines technologijas, tokias kaip užgarinimą ir terminį apdorojimą. Pristatomi difuzija sujungtų kontaktų formavimo pagrindiniai fiziniai principai ir praktinio pritaikymo pavyzdžiai. Tokie kontaktai yra puikios kokybės. Aprašoma pati kontaktų formavimo technologija gaminant galios puslaidininkinius darinius. Siūlomas metodas buvo sėkmingai taikomos GaAs struktūrose ir SiC Šotkio dioduose. Il. 8, bibl. 8 (anglų kalba; santraukos anglų ir lietuvių k.).http://dx.doi.org/10.5755/j01.eee.111.5.359
Publisher	Kaunas University of Technology
Date	2011-06-22
Source	Elektronika ir elektrotechnika Vol 111, No 5 (2011)
Rights	Autorių teisės yra apibrėžtos Lietuvos Respublikos autorių teisių ir gretutinių teisių įstatymo 4-37 straipsniuose.

 

See other article in the same Issue