Nusodinimo greičio įtaka Al plėvelių, užgarintų ant dielektrikų ir puslaidininkių, struktūrai ir paviršiaus morfologijai
|
| Title | Nusodinimo greičio įtaka Al plėvelių, užgarintų ant dielektrikų ir puslaidininkių, struktūrai ir paviršiaus morfologijai |
| Authors | |
| Abstract | Garinant elektronų spinduliu, 100 nm storio aliuminio (Al) plėvelės buvo auginamos ant kambario temperatūros stiklo, silicio ir žėručio padėklų. Auginimo greitis buvo nuo 0,1 nm/s iki 2 nm/s, slėgis kameroje proceso metu buvo mažesnis nei 1 ´ 10–3 Pa. Užgarintų Al plėvelių struktūra bei paviršiaus morfologija buvo tiriamos naudojant skenuojamąją elektroninę mikroskopiją (SEM) bei atominių jėgų mikroskopiją (AJM). Plėvelių SEM vaizdų analizė parodė, kad, didinant nusodinimo greitį, vidutinis plonų Al plėvelių grūdelių dydis padidėjo nuo 20 nm – 30 nm iki 50 nm – 70 nm. Kiekybiniai AJM matavimai parodė, kad visų naudotų padėklų paviršiaus šiurkštumas (vidutinis kvadratinis nuokrypis) monotoniškai didėjo, didėjant nusėdimo greičiui nuo 0,1 nm/s iki 2 nm/s. Nusodinimo greičio įtakos paviršiaus šiurkštumui efektai paaiškinti fundamentaliomis salelių augimo modų charakteristikomis, fono dujų įtaka ir padėklų paviršiaus morfologija.DOI: http://dx.doi.org/10.5755/j01.ms.18.4.3088 |
| Publisher | Kaunas University of Technology |
| Date | 2012-12-17 |
| Source | Medžiagotyra Vol 18, No 4 (2012) |
| Rights | Copyright terms are indicated in the Republic of Lithuania Law on Copyright and Related Rights, Articles 4-37. The copyright for articles in this journal are retained by the author(s), with first publication rights granted to the journal. By virtue of their appearance in this open access journal, articles are free to use with proper attribution in educational and other non-commercial settings. |