Journal Title Mechanics Journal Abbreviation Mech Publisher Group Kaunas University of Technology (KTU) Open Journal Systems (KTU) Website http://www.eejournal.ktu.lt/index.php/Mech

PDF (466 kb)

Title	PLONASLUOKSNIŲ MIKROOPTOELEKTROMECHANINIŲ MEMBRANŲ LIEKAMIEJI ĮTEMPIAI
Authors	Malinauskas, K.; Ostaševičius, V.; Daukševičius, R.; Grigaliūnas, V.
Abstract	Gamybos metu atsiradę liekamieji įtempiai gali turėti ypač didelę reikšmę MOEMS veikimui ir patikimumui. Galima drąsiai teigti, kad paviršinio mikroformavimo būdu jokio prietaiso negalima pagaminti be liekamųjų įtempių. Dažniausiai MOEMS gamyboje pasitaikantys liekamieji įtempiai susidaro kaip tik dėl temperatūros pokyčių, kurie atsiranda užgarinant plonus sluoksnius ant norimų bandinių esant aukštai temperatūrai ir kai naujos struktūros bandinys atvėsta iki kambario temperatūros. Šiame straipsnyje pateikiama mikro membranos paviršinio formavimo technologija. Taip pat yra aprašyta objekto principinė schema ir veikimo principas. Naudojantis Comsol Multiphysics modeliavimo įrankiu yra sumodeliuotos membranos, palyginti savieji dažniai esant temperatūros poveikiui, kuris atsiranda gamybos metu, ir jo nesant. Taip pat yra pateiktas galimas problemos sprendimas.DOI: http://dx.doi.org/10.5755/j01.mech.18.3.1880
Publisher	Kaunas University of Technology
Date	2012-06-19
Source	Mechanika Vol 18, No 3 (2012)

 

See other article in the same Issue